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레이저 빔 프로파일러
Evaluation and methods to measure beam width

레이저 빔 폭 평가

레이저 빔의 폭은 다양한 응용 분야에서 레이저 시스템의 성능에 큰 영향을 미칠 수 있는 핵심 파라미터입니다. 레이저 빔 폭을 정확하게 평가하는 것은 최적의 성능을 보장하고, 원하는 결과를 달성하며, 오류나 결함의 위험을 줄이는 데 필수적입니다. 본 기사에서는 나이프 엣지(knife-edge) 및 스캐닝 슬릿(scanning slit) 기법을 포함하여 레이저 빔 폭을 평가하는 다양한 방법을 살펴보고, 각 접근 방식의 장점과 한계를 설명합니다. 또한 레이저 빔 폭을 정확하게 측정하기 위한 올바른 정렬과 교정의 중요성에 대해서도 논의합니다. 더 나아가 레이저 공진기 설계, 모드 구조, 공진기 안정성과 같은 레이저 빔 폭에 영향을 미칠 수 있는 요소들과 이들이 레이저 성능에 미치는 영향도 살펴봅니다. 레이저 시스템 설계자, 엔지니어, 연구자 또는 사용자라면 레이저 빔 폭을 평가하는 방법을 이해하는 것이 최적의 성능을 달성하고 레이저 기술의 잠재력을 최대한 활용하는 데 필수적입니다.

레이저 빔 폭 평가 기법을 통해 레이저 시스템의 최적 성능 달성

레이저의 빔 폭을 평가하는 것은 성능을 특성화하고 특정 응용 분야에 대한 적합성을 판단하는 데 있어 중요한 단계입니다.

레이저의 빔 폭을 평가하는 데 사용할 수 있는 다양한 방법과 파라미터는 다음과 같습니다:

Full-width-at-half-maximum (FWHM): 이는 강도가 최대 강도의 절반이 되는 지점에서의 빔 폭을 의미합니다. 가우시안 강도 분포를 갖는 레이저 빔의 폭을 측정하는 데 일반적으로 사용됩니다.

1/e² 반경: 이는 빔 중심으로부터 강도가 최대 강도의 1/e²(약 13.5%)로 감소하는 지점까지의 반경 거리입니다. 1/e² 반경은 특정 지점에서의 빔 폭을 측정하는 데 사용되며, M² 파라미터 계산에 일반적으로 활용됩니다.

빔 직경: 이는 특정 지점에서의 레이저 빔 폭을 나타내며, D4σ, D9σ, D15σ 등 다양한 방식으로 정의될 수 있습니다.

특히 불규칙한 형태의 빔의 경우 통계적 접근 방식이 선호됩니다. 가장 널리 사용되는 방식은 D4σ, 또는 간단히 4σ로, 이는 가우시안 통계 분포의 표준편차의 4배를 의미합니다.

가우시안 피팅(Gaussian fit): 측정된 빔 프로파일을 가우시안 함수에 피팅하고, 빔 허리(beam waist) 및 발산각과 같은 피팅 파라미터를 추출하는 방법입니다.

탑햇 피팅(Top-hat fit): 측정된 빔 프로파일을 탑햇 함수에 피팅하고, 빔 직경 및 플랫탑 반경과 같은 파라미터를 추출하는 방법입니다.

Huaris Profiling Software를 사용한 레이저 빔 프로파일링의 가능성을 확인해 보십시오. 빔을 가로지르는 강도 분포의 가우시안 분포에 대한 빔 폭 파라미터 정의는 아래 그래프에 제시되어 있습니다.

 

Gaussian distribution of the intensity distribution across the beam
The definition of the beam width parameters of the Gaussian distribution of the intensity distribution across the beam

빔 폭을 평가하는 방법은 레이저의 유형과 빔 특성, 그리고 응용 분야의 구체적인 요구 사항에 따라 달라집니다. 예를 들어, 가우시안 강도 분포를 갖는 레이저에는 가우시안 피팅이 더 적합할 수 있으며, 비가우시안 강도 분포를 갖는 레이저에는 탑햇 피팅이 더 적합할 수 있습니다. 또한 이러한 파라미터를 정확하게 측정하기 위해서는 잘 교정되고 설계된 시스템이 필요합니다.

빔 폭 파라미터는 레이저 빔을 특성화하는 데 가장 일반적으로 사용되는 지표이므로, ISO 11146 규격에서 표준화되어 정의되어 있습니다.

해당 표준에서는 타원형 빔의 측정 방법도 정의되어 있으며, Huaris 소프트웨어에서 사용되는 이러한 빔 측정 방법론은 이 정의에 따라 직접 구현되었습니다.

빔 폭 모니터링은 레이저로 수행되는 공정의 품질을 제어하는 데 있어 매우 중요한 요소입니다.

 

빔 폭 측정 방법

레이저의 빔 폭을 측정하는 데 사용할 수 있는 다양한 방법은 다음과 같습니다:

  1. 나이프 엣지 스캔(knife-edge scan): 빔을 가로질러 나이프 엣지를 이동시키면서 엣지를 통과한 빛의 강도를 측정하는 방법입니다. 포토다이오드나 카메라를 사용하여 수행할 수 있으며, 얻어진 데이터는 빔의 강도 프로파일을 분석하여 빔 폭을 계산하는 데 사용됩니다.

  2. 빔 프로파일러: 빔 프로파일러는 빔 프로파일의 이미지를 캡처한 후 이를 분석하여 빔의 특성을 결정하는 장치입니다. 강도 분포를 분석함으로써 빔 폭을 측정할 수 있으며, 빔의 공간적 및 시간적 프로파일 모두를 측정할 수 있습니다.

  3. 파워 미터: 파워 미터는 레이저 빔의 출력을 측정하는 장치입니다. 빔 축을 따라 여러 지점에서 빔의 출력을 측정하여 빔 폭을 계산할 수 있으며, 출력 분포 분석을 통해 빔 폭을 유추할 수 있습니다.

  4. 간섭계(interferometry): 레이저 빔을 두 개의 빔으로 분리한 후 다시 결합하여 간섭 무늬를 생성하는 방법입니다. 이 간섭 무늬를 통해 두 빔의 위상과 진폭을 분석할 수 있으며, 이를 기반으로 빔 폭을 추정할 수 있습니다.

  5. 원거리장(far-field) 측정: 원거리장에서의 빔 강도 분포를 측정하는 방법입니다. 카메라나 검출기 어레이를 사용하여 수행할 수 있으며, 빔 발산각과 기타 파라미터에 대한 정보를 제공하여 빔 폭을 유추할 수 있습니다. 원거리장 측정에서는 일반적으로 프로파일러가 사용되며, 원거리장 이미지를 얻기 위해 추가적인 집광 렌즈가 사용되는 경우가 많습니다. 측정 구성의 예시는 아래 그래프에 제시되어 있습니다.

Far-field measurement is one of methods to measure beam width

이러한 구성에서는 프로파일러의 검출기 어레이가 빔 허리 위치에 배치됩니다.

각 방법에는 고유한 장점과 한계가 있습니다. 예를 들어, 나이프 엣지 스캔과 빔 프로파일러는 사용이 간편하고 빔 프로파일에 대한 많은 정보를 제공할 수 있지만, 시스템 정렬에 영향을 받을 수 있습니다. 간섭계는 매우 정밀한 방법이지만, 설치와 사용이 더 복잡합니다.

레이저 빔 특성화에 있어 어레이 기반 검출기가 가장 적합한 이유는 무엇인가?

어레이 기반 검출기는 다른 유형의 검출기에 비해 여러 가지 장점을 제공하기 때문에 레이저 빔 특성화에 가장 적합한 옵션 중 하나로 간주됩니다:

높은 공간 해상도: CCD 또는 CMOS 카메라와 같은 어레이 기반 검출기는 촘촘하게 배열된 다수의 개별 검출 소자를 갖고 있어 높은 공간 해상도를 제공합니다. 이는 빔 프로파일의 미세한 특징이나 변화를 측정하는 데 유용합니다. 예를 들어, Huaris Five 프로파일러는 픽셀 크기가 단 2.2 마이크로미터입니다.

높은 다이내믹 레인지: 어레이 기반 검출기는 매우 낮은 강도부터 매우 높은 강도까지 넓은 범위의 강도를 측정할 수 있습니다. 이는 다양한 출력 레벨을 가진 레이저 빔이나 고강도 및 저강도 영역이 공존하는 빔을 측정하는 데 적합합니다.

고속 성능: 어레이 기반 검출기는 고속으로 이미지를 획득할 수 있어, 빠르게 변화하는 빔이나 빔의 시간적 특성을 측정하는 데 유용합니다. 최신 CMOS 및 CCD 카메라는 빔의 강도 분포 변화보다 훨씬 빠르게 강도 맵을 획득할 수 있어, 빔 품질의 실시간 모니터링이 가능합니다.

높은 신호 대 잡음비: 어레이 기반 검출기는 일반적으로 낮은 노이즈 플로어를 가지며, 이를 통해 약한 신호도 높은 정확도로 측정할 수 있습니다.

다용성: 어레이 기반 검출기는 단순한 빔 프로파일 측정부터 빔의 시간적 및 공간적 특성에 대한 고급 측정까지 폭넓은 응용 분야에 활용될 수 있습니다.

비용 효율성: CCD 또는 CMOS 카메라와 같은 어레이 기반 검출기는 다른 유형의 검출기보다 비용이 낮은 경우가 많으며, 널리 사용 가능합니다.

 

어레이 기반 검출기가 레이저 빔 특성화에 가장 적합한 옵션으로 널리 인정받고 있지만, 응용 분야의 요구 사항에 따라 다른 유형의 검출기도 사용할 수 있습니다. 또한 어레이 기반 검출기의 성능은 광학계, 전자적 노이즈, 검출기의 감도에 영향을 받을 수 있습니다. 어레이 검출기를 논의할 때는 이를 지원하는 전자 장치와 소프트웨어도 반드시 언급되어야 합니다. CMOS 및 CCD 카메라는 기술적 성숙도가 높아 고급 수준의 매우 진보된 소프트웨어와 함께 작동할 수 있습니다. 그 결과, 다른 방법이나 장비로는 구현이 어렵거나 거의 불가능한 다양한 새로운 계측 기능을 구현할 수 있습니다. 그 예로 Huaris 아키텍처를 들 수 있습니다. 전자 장치를 포함한 로컬 검출기는 로컬 애플리케이션을 호스팅하는 로컬 컴퓨터와 물리적으로 연결되어 있으며, 이를 통해 현장에서 빔 파라미터를 모니터링할 수 있습니다. 또한 이 로컬 애플리케이션은 데이터 통신 허브 역할을 하여 원격 클라우드 서버로 데이터를 전송합니다. Huaris Cloud는 데이터를 장기간 저장하고, 인공지능을 사용하여 측정 결과를 분석하며, 이를 해석하는 데 도움을 제공합니다.

 

Architecture of the Huaris laser beam profiling system
Architecture of the Huaris laser beam profiling system

유용한 Huaris 링크

Huaris 시스템은 인공지능을 활용한 레이저 빔 프로파일링 분야에서 최신 기술 성과를 보여주는 훌륭한 사례입니다. 당사의 제품과 소프트웨어를 확인해 보십시오:

Author

Maciej Hawro