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レーザービームプロファイラ
Materials processing applications that use laser beams

材料加工におけるレーザービームの使用

レーザービーム加工は、切断、溶接、穴あけ、表面改質など、さまざまな材料加工用途で使用されている強力な技術です。本記事では、材料加工においてレーザービームがどのように使用されているかを紹介し、それぞれの手法の利点と制限について説明します。また、レーザー出力、ビームプロファイル、波長、パルス幅など、レーザービーム加工の有効性に影響を与える要因についても解説します。

さらに、材料加工におけるレーザービームプロファイリングの重要性と、レーザービームを正確に特性評価することで、プロセスパラメータの最適化や加工品質・効率の向上がどのように可能になるかについても説明します。エンジニア、研究者、レーザーメーカー、またはレーザー技術に興味を持つ方であれば、材料加工におけるレーザービームの活用を理解することは、最適な結果を得てレーザー技術の可能性を最大限に引き出すために不可欠です。

レーザービームを使用する材料加工用途

レーザービームは、高エネルギー・高出力で、かつ高集光が可能であるため、材料加工分野で広く使用されています。さらに、対象物との相互作用領域に供給されるエネルギー量を比較的容易に制御できるため、除去される材料量を調整したり、溶接時に金属の厚みに適応したりすることが可能です。また、加工中にビーム位置を容易に変更できる点も利点です。CNC機械と比較すると、レーザーは材料を除去する物理的な工具を使用せず、光ビームを用いて加工を行います。光は機械工具のように摩耗しないため、工具コストを大幅に削減できます。

医療用途においても、多くの利点があります。例えば、組織を切開するレーザービームは、医療機器が患者に物理的に接触する必要がないため、高い無菌性を実現できます。

レーザービームを使用する材料加工用途の例には、以下のようなものがあります。

切断:レーザーは、金属、プラスチック、セラミックス、ガラス、さらにはダイヤモンドに至るまで、幅広い材料の切断に使用できます。高エネルギーのレーザービームが材料を溶融または蒸発させ、熱影響部を最小限に抑えた、クリーンで高精度な切断を実現します。

溶接:レーザーは、金属、プラスチック、セラミックスなど、さまざまな材料の溶接に使用できます。レーザービームによって材料が溶融し、歪みの少ない高強度な溶接が可能となります。

穴あけ:レーザーは、金属、プラスチック、セラミックスなどの材料に、小径で高精度な穴をあけることができます。レーザービームが材料を溶融または蒸発させ、クリーンで正確な穴を形成します。

表面改質:レーザーは、表面硬化、表面洗浄、表面テクスチャリングなど、材料の表面特性を変化させる用途に使用されます。レーザービームで表面を加熱することで、表面のマイクロ構造やナノ構造を変化させることができます。

3Dプリンティング:レーザーは、粉末を焼結したり、プラスチックを溶融したりすることで、3D構造物を形成する用途に使用されます。レーザービームによって材料を層ごとに溶融または結合し、最終的な3D構造を作製します。このプロセスは一般に「焼結」と呼ばれます。

マーキングおよび彫刻:レーザーは、金属、プラスチック、セラミックスなど、幅広い材料のマーキングや彫刻に使用されます。レーザービームによって表面を除去したり、色を変化させたりすることで、恒久的なマーキングや彫刻を施します。

表面洗浄:レーザーを用いてさまざまな表面を洗浄することができます。例えば、クラクフのヴァヴェル城では、ポーランド国防大学光電子工学研究所の研究チームにより、パルスレーザーを用いて歴史的遺産の修復が行われました。

使用するレーザーおよび加工方法の選択は、材料の種類および求められる最終結果によって異なります。

  1. Nd:YAGパルスレーザーは、ダイヤモンドの切断や美術品の修復に使用されます。

  2. CO₂連続波(CW)レーザーは、プラスチックの切断によく使用されます。

  3. 波長約1100nmで動作するファイバーCWレーザーは、金属の切断に一般的に使用されます。

  4. Nd:YAGレーザーは、マーキング用途にも使用されます。

回折限界集光スポットとは何か?

回折限界集光スポットとは、レンズまたはミラー光学系を用いて形成できるレーザービームの最小スポットサイズを指します。このスポットサイズは、光が開口を通過したり、ミラーで反射されたりする際に生じる回折という基本的な物理現象によって決まります。

Far-field measurement is one of methods to measure beam width

回折限界集光スポットのサイズは、エアリーディスクによって表されます。エアリーディスクとは、レンズやミラーの開口内の各点から生じる回折パターンが重なり合って形成されるパターンです。そのサイズは、光の波長およびレンズやミラー光学系の開口数(NA)によって決まります。波長が短く、NAが大きいほど、回折限界集光スポットは小さくなります。

回折限界集光スポットは理論的に達成可能な最小スポットサイズですが、実際には他の要因によってスポットサイズが大きくなることがあります。例えば、光学系の収差、光学素子の汚れやほこり、さらには熱的影響によって、集光スポットサイズが時間とともに変化することがあります。

回折限界集光スポットは、顕微鏡などの高解像度イメージングや、高精度な材料加工など、高い空間分解能を必要とする用途において重要です。小さな集光スポットは、焦点位置で高い強度を得ることができ、プロセスの分解能と精度を向上させます。

回折限界集光スポットの式

直径D(1/e²)のコリメートされたレーザービームが、焦点距離fのレンズを通過し、波長λを持つと仮定します。この場合、理論的に達成可能な最小集光スポットサイズは、以下の式で与えられます。

d = 2.44 × λ × f / D

これはエアリーディスクサイズとも呼ばれます。

以下の図に示されています。

Diffraction limited focal spot formula

なお、回折限界集光スポットサイズは、以下の式でも定義されます。

d = 1.22 × λ / NA

NA(Numerical Aperture:開口数)は、光が通過する光学系を定義するパラメータです。非常に高度な光学系では、NAを調整することで、通常の構成における回折限界よりも小さな集光スポットを実現することが可能です。この手法は、マイクロプロセッサ製造に使用されるリソグラフィ装置で採用されています。これらのシステムでは、エキシマレーザーが使用され、波長よりもはるかに小さな構造を形成します。

ビームの欠陥が集光スポットおよびプロセスパラメータに与える影響

ビームの欠陥は、集光スポットのサイズや品質、さらにはレーザー材料加工におけるプロセスパラメータに大きな影響を与える可能性があります。以下にその例を示します。

ビーム発散:発散が大きくなると、集光スポットは大きくなり、強度が低下します。その結果、材料加工における分解能や精度が低下します。アブレーションが主な加工メカニズムの場合(例:マーキング用途)、加工効率が低下する可能性があります。

ビームポインティング安定性:ビームポインティングの安定性が低いと、集光スポットが移動し、材料に対して一定の焦点を維持することが困難になります。これにより、プロセスパラメータのばらつきや精度低下が生じます。

ビームモード品質:高次横モードなど、品質の低いビームモードは、集光スポットを不均一にし、強度分布のムラを引き起こします。その結果、プロセスパラメータのばらつきや精度低下につながります。

空間および時間コヒーレンス:コヒーレンスが低いと、集光スポットが大きくなり、強度が低下し、プロセスの安定性にも影響します。また、小さなスポットへの集光能力や干渉パターン生成能力にも影響を与えます。

出力分布:出力分布が不均一であると、集光スポットの強度分布も不均一となり、プロセスパラメータのばらつきや精度低下を引き起こします。

スペクトル特性:広帯域スペクトルなどの特性は、集光スポットを大きくし、強度を低下させ、安定性にも影響を与えます。

光学系の収差:ビームを集光する光学系の不完全さは、焦点サイズを拡大し、出力をより広い領域に分散させます。これにより、加工精度の低下やイメージング分解能の損失が生じる可能性があります。

以下の画像は色収差の例です。

また、次の画像は球面収差の例であり、特に単一(特に球面)レンズでレーザービームを集光する構成において非常に一般的です。

結論として、レーザービーム品質は、そのビームが使用されるプロセスにおいて常に極めて重要です。ビーム品質は継続的に監視され、可能な限り良好な状態を維持するための保守計画が立てられるべきです。良い例として、白内障手術におけるフェムト秒レーザーの使用が挙げられます。この手術では、フェムト秒レーザーによって網膜付近の組織が切開され、水晶体の除去が行われます。集光スポットサイズは、術後に形成される瘢痕の大きさに直接影響します。この瘢痕は光を散乱させ、副作用の原因となります。集光スポットが大きいほど、副作用のリスクは高くなります。この例は、レーザービーム品質管理の重要性を非常に明確に示しています。

なぜレーザービームモニタリングはプロセス品質管理に不可欠なのか

レーザービームモニタリングは、ビームプロファイル、出力、エネルギーなどのレーザービーム特性をリアルタイムで解析し、レーザープロセスが最適かつ規定されたパラメータ内で動作していることを保証するため、プロセス品質管理において不可欠です。レーザービームを継続的に監視することで、潜在的な問題を早期に検出でき、迅速な是正措置が可能となり、不良品やダウンタイムのリスクを最小限に抑えることができます。さらに、レーザービームモニタリングは、プロセス最適化および制御に不可欠な、レーザービームの正確な特性評価を可能にします。最終的に、レーザービームモニタリングは、医療、航空宇宙、自動車などの産業分野において、高品質な製品の実現と製造プロセスの最適化に不可欠です。Huaris AI Cloudは、レーザーシステム向けの予知保全ソリューションです。

レーザービームモニタリングが不可欠な理由には、以下のような点があります。

プロセス制御:出力、ビーム幅、ポインティングなどのレーザービームパラメータを継続的に監視することで、プロセス品質に影響を与える変動や変化を検出・補正できます。これにより、一貫した品質の製品を製造することが可能となります。

安全性:レーザービームを監視することで、レーザーや光学系の異常を示す予期しないビーム変化を検出できます。これにより、装置の損傷や潜在的な安全リスクを防止できます。

効率:レーザービームの変動を検出することで、プロセス効率への影響を把握できます。例えば、出力低下は切断速度の低下につながり、ポインティング安定性の向上は切断精度の向上につながります。

予知・予防保全:レーザービームを長期的に監視することで、レーザーや光学系の問題を示す変化を検出できます。これにより、故障や大幅な品質低下が発生する前に対策を講じることが可能となります。

トレーサビリティ:レーザービームを監視することで、プロセスおよびビームパラメータに関するデータを収集でき、品質保証において不具合原因を遡って確認することが可能となります。

レーザービームが品質基準を満たしていない場合、多くのプロセスパラメータが影響を受ける可能性があります。Huaris Cloudは、レーザービームパラメータを長期間にわたって監視し、レーザーの異常動作を自動検出するための、この種のソリューションとして世界初のシステムです。

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Huarisシステムは、人工知能を活用したレーザービームプロファイリングにおける最新技術の優れた例です。当社の製品およびソフトウェアをご覧ください。

Author

Maciej Hawro